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威固特光掩膜板超声波清洗机

发布人: 深圳市威固特超声波科技开发有限公司 发布时间: 2019-10-29

光掩膜板包含了整个硅片图形特征进行11图形复制,这种掩膜板用于比较老的接近式光刻和扫描对准投影机中。光掩膜板的基材一般为熔融石英,在制作过程中要在石英表面溅射一层铬层,如果石英表面吸附有任何的灰层和杂质都会影响铬层,铬层又会直接影响到整块光掩膜板,光掩膜板上的任何缺陷都会对 终图形精度产生严重的变形,所以光掩膜板必须保持“完美”。

想保持完美的光掩膜板必须要借助超声波清洗机的力量,只有超声波清洗机能做到如此完美,它可以将凹凸不平的石英表面砌底的清洁干净,也可让那些长期住在光掩膜板密密麻麻的微孔里的尘埃大搬家。所以说光掩膜板选用超声波清洗机清洗是在合适不过的方式了。

威固特光掩膜板超声波清洗机型号为VGT-4000PFT,这台设备的优势是各槽配备有清洗过程摇动机构,141B溶剂槽备有蒸汽源、定时器、无放调速提稓装置或气动提升装置,不锈钢材料、零部件、元器件均优质进口。

该设备特点:

1.该机型是光学/光电行业的专用清洗机。

2.人性化设计,操作及运行更合理。

3.管路全部采用抛光不锈钢管。

4.超声波功率连续可调多少频高频综合使用。

5.清洗主槽和汪储液槽设有独立过滤系统。

6.设有抛动清洗装置与慢拉提升装置,清洗效果均匀。

7.清洗、漂洗、脱水、慢拉、干燥等工艺。

8.加热设有自动恒温系统。

这台清洗机属于耐用型的,只要平时按照说明书上步骤进行正确操作,一般都不会出现什么故障可改为,光掩膜板超声波清洗机它的使用寿命会更加的可观。

深圳市威固特超声波科技开发有限公司

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